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晶圓應力檢測是半導製造過程中極為重要的一環。傳統上晶圓的內應力大多都不是直接測量的，而是通過曲率法間接進行測量的，也就是用各種辦法測量出晶圓的形變程度（例如翹曲度），再通過幾何形變與應力之間著名的斯托尼方程（Stoney’sEquation）計算出晶圓的應力。那麽問題就來了：晶圓是形變越大應力就一定越大麽？這個在矽半導體中大抵是沒有問題的。矽工業發展到今天，晶圓的質量已得到了很好的控製，缺陷密度極低。晶圓的形變主要由晶格常數的變化——也就是晶格共價鍵的拉伸、壓縮和扭轉引起，這...

近日，浙江大學材料學院葉誌鎮院士團隊在鈣鈦礦異質結構方麵取得重要進展，研究成果以“EpitaxialGrowthofCsPbBr3Pyramids/CdSNanobeltHeterostructuresforHigh-PerformancePhotodetectors”為題發表在國際知*學術期刊ACSAppliedMaterials&Interfaces(doi：10.1021/acsami.3c19282)上。徐興博士為第一作者，葉誌鎮院士、何海平教授、樊超博士為共同通訊作...

近日，浙江大學材料學院葉誌鎮院士團隊在高光效、高穩定鈣鈦礦複合結構方麵取得重要進展，研究成果以“Highlyefficientａndultra-stableCsPbBr3compositesforLCDdevicesａndX-rayimaging”為題發表在國際知*學術期刊JournalofMaterialsChemistryC(doi：10.1039/d3tc04701f)上。浙江大學為該論文第一單位，王朋博士、王昭宇博士、朱美怡博士為共同第一作者，葉誌鎮院士、何海平教授、...

近日，浙江大學材料學院何海平教授團隊在提升準二維鈣鈦礦薄膜中放大自發輻射的穩定性方麵取得重要進展，研究成果以“Long-termair-stableamplifiedspontaneousemissioninquasi-2Dperovskitefilmsthroughligandengineering”為題發表在國際*名學術期刊JournalofMaterialsChemistryC(DOI:10.1039/d4tc00915k)上。揚州大學陳小鋒教授為第一作者，何海平教授、...

近日，浙江大學材料學院葉誌鎮院士團隊在藍色鈣鈦礦激光方麵取得重要進展，研究成果以“BluePerovskiteLasingDerivedfromBoundExcitonsthroughDefectEngineering”為題發表在國際著名期刊ACSNano(DOI:10.1021/acsnano.4c06877)上。浙江大學為該論文第一單位，陸國超博士與王昕洋博士為共同第一作者，葉誌鎮院士、何海平教授、李靜博士為共同通訊作者。全無機鉛鹵鈣鈦礦薄膜具有高光增益、帶隙可調、非外延...

在科研與精密測量的殿堂中，主動隔振光學平台以其傑出的穩定性與精度，成為了至關重要的實驗利器。這一創新設計不僅為科研人員營造了一個無幹擾的實驗環境，更推動了眾多領域的技術進步與突破。主動隔振光學平台，顧名思義，是通過主動方式消除振動幹擾的光學平台。它集成了先進的電氣控製係統、高精度傳感器以及動態執行器，能夠實時監測並消除來自外部環境的振動。這一特性使得該平台在搭載高精度的顯微鏡、輪廓儀、幹涉儀等精密儀器設備時，能夠確保測量結果的準確性與穩定性。在平台中，傳感器如同敏銳的“耳朵”...

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