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SXRD-HR100是一款高分辨、多功能、 自動化為一體的X射線衍射儀,其測試範圍覆蓋了粉末、薄膜、納米材料等各類材料,廣泛應用於材料科學、能源、半導體、醫藥等領域。
產品特色
標配密封陶瓷X射線光管,功率大,亮度高,可持續工作,長期可靠性好
高運動精度測角儀,配合高精密光學元件,可提供高準直、高單色的X射線光束
二維光子計數探測器,具有很高的空間分辨率,可以大幅度提高測試效率
具有良好的兼容性和擴展性,支持模組快捷切換,以滿足不同應用場景的需求
智能光路係統:光路自動切換、模組自動識別
測試數據


SXRD-HR100測試數據:半高寬(FWHM)

測試條件
B/B幾何光路
光管功率:40KV,40mA
索拉狹縫:3°
入射狹縫:0.6°
步進模式:step=0.003°(單晶矽)
連續模式:step=0.02°(多晶矽)
高精度X射線衍射儀SXRD-HR100技術特點
大功率光管(兩種靶材可選)
Cu靶:標配光源,波長=1.54Å,適用於絕大部分X射線衍射實驗和應用場景
Mo靶:波長=0.71Å,主要針對輕元素(如 Li、B)材料和超高分辨(如半導體應變層)的衍射實驗
模塊化與自動化設計
係統具有模組自動識別功能,可隨時了解係統配置狀態
光路自動調整,可有效降低實驗難度,提高實驗效率
不同光路之間可自動切換,大大提高實驗的自動化程度
超高分辨率
高精度測角儀,配合光學編碼器的全閉環控製,可實現的定位精度為 ±0.0001°
X射線多層膜反射鏡(Goebel鏡),用於X射線光束修飾,可將光束準直性提高到0.03°以內,並有效去除特征小优视频官方下载中的Kβ部分
Ge220雙晶單色器,用於X射線光束修飾,可進一步提高光束單色性,是超高分辨率衍射的必*光學元件
可選配二維單光子計數探測器,具有大麵積(有效麵積 77.1x 38.4毫米)、高空間分辨率(最小像素75x75 微米)和高計數率
客戶價值
提升科研效率 (自動化 + 高通量,縮短研發周期)
自動化操作:自動校準功能、模塊識別功能、一鍵式流程,可以有效降低實驗難度,提高實驗效率,非常適合需要快速迭代的研發場景
大麵積光子計數探測器:可同時采集多角度數據,結合 AI 輔助分析,快速完成物相識別或應力分布計算,加速實驗-反饋循環
節約運行成本(低維護設計 + 模塊化擴展 + 自動化設計,降低全生命周期成本)
低維護與高壽命:標配的陶瓷密封X射線管,使用壽命長,日常無需維護成本
模塊化設計與擴展性:用戶無需為不同需求購置多台設備,通過升級附件,即可擴展新的功能,降低初期投資和後續升級成本
節約人力成本:自動化操作減少對專業操作員的依賴,新手經過短期培訓即可獨立完成複雜測試,有效降低人力資源投入
提升數據的質量與可靠性(高靈敏度 + 穩定性,確保數據可靠性,支持高精度工藝控製)
高精度與低噪聲:高精密光學元件,對X射線光束進行準直和單色,配合多能量閾值可選的光子計數探測器,可以有效降低噪聲信號,提高實驗的分辨率,確保弱信號樣品的精準檢測,提高實驗數據的可靠性
穩定性與重複性:高精度機械加工,配合光學編碼器形成的全閉環控製,保證了測角儀的運動精度、穩定性、長期可靠性,可以滿足工業質量控製(如半導體晶圓檢測)對可重複性的嚴苛要求
靈活性(模塊化設計,兼容性強,擴展性強,滿足跨領域需求,適應技術趨勢迭代)
易用性(智能化操作降低技術門檻,遠程協作提升資源利用率)
應用領域

技術規格
項目 | 規格參數 |
外觀尺寸 | 1300(寬)×1880(高)×1300(深)mm |
X射線光管 | 最大輸出功率3kw,電壓 10 - 60kv,電流 0 - 50mA |
靶材 Cu,陽極接地,鈹窗 300μm,起飛角 6° | |
電子束焦斑:0.4×1.2mm | |
水冷:最小流速 3.5l/min,最大水壓 490KPa,壓降 98KPa | |
高壓電源 | 輸入:電壓 230Vac - 10%, one phase,電流 33A |
輸出:電壓 0 - 60kv,電流 0 - 80mA | |
穩定性:預熱 1 小時後,8 小時內電壓和電流變化 < 0.01% | |
紋波:在 1KHz 以下,0.03% rms;在 1KHz 以上,0.75% rms | |
測角儀 | 類型:垂直放置測角儀 |
角度範圍:-110° ~ +168° | |
角度定位:步進電機 + 光學編碼器 | |
最小步長 0.0001°,運動精度≤±0.0001° |
項目 | 規格參數 |
探測器 | 類型:光子計數型混合像素半導體探測器 |
有效麵積:77.1×38.4 = 2961mm² | |
像素大小:75×75μm | |
尺寸:100 x 140 x 93 mm | |
樣品台 | 標準樣品台:Rx, RY, Z, phi |
XYZ 運動平台 (可選): X, Y, Z | |
毛細管樣品台 (可選):X, Y, phi | |
五軸樣品台 (可選): X, Y, Z, phi, Chi | |
Non - ambient 樣品台 (可選) | |
光學元件 | 可變狹縫:0.05 - 10mm |
soller 狹縫:0.5°丶0.2°丶0.1°丶0.05°丶0.02° | |
Goebel 鏡:發散度≤0.03°, f1 = 100mm,單色性 Kα | |
雙晶單色器:Ge220×2 |
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