三自由度並聯運動台

產品簡介

三自由度並聯運動台：超安靜運動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·並聯驅動結構 ·內置高精度光學位置傳感器靈活的可定製方案

Name: 三自由度並聯運動台Free3D.ZTxTy.070
Brand: ZOLIX/小优视频app为爱而生
Price: 200000 CNY
Availability: InStock

產品型號：Free3D.ZTxTy.070

更新時間：2026-03-06

廠商性質：生產廠家

訪問量：166

產品谘詢 13810146393

產品分類Product Categories

相關文章Related Articles

詳細介紹在線留言

三自由度並聯運動台 — Free3D.ZTxTy.070
產品特色

· 超安靜運動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· 並聯驅動結構

· 內置高精度光學位置傳感器

· 靈活高的可定製方案

產品圖片&尺寸

產品參數

1	可選版本	.HV,高真空版本； .UHV,超高真空版本； .NM,*全無磁版本；
2	外形尺寸	Ø70×82 mm
3	主體材料	標準版， .HV,.UHV鋁合金，鋼：800 g;,NM純鈦，陶瓷：460 g
4	*大垂直負載	5 kg
5	中空孔徑	Ø10 mm
6	運動行程Z,θX,θY*	±2.5 mm,±9°,±10°
7	單向重複精度Z,θX,θY	±0.2 μm,±8μrad,±8μrad
8	最小步伐Z,θX,θY	10 nm,1 μrad,1μrad
9	傳感器類型	光學位置傳感器
10	位置傳感器分辨率	2 nm
11	線纜&接頭	默認：屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本： Kapton漆包線， D-Sub15(PEEK)
12	控製器規格	MC-Free3D

三自由度並聯運動台 — Free3D.ZTxTy.100

產品特色

· 超安靜運動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· 並聯驅動結構

· 內置高精度光學位置傳感器

· 靈活的可定製方案

產品圖片&尺寸

產品參數

1	可選版本	HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；NM，*全無磁版本；
2	外形尺寸	Ø100 × 78 mm
3	主體材料	標準版，+HV，+UHV 鋁合金，銅：1010 g；NM 純鈦，陶瓷：580 g
4	*大垂直負載	500 g
5	中空孔徑	Ø20 mm
6	運動行程 Z, 6X, 6Y*	0–20 mm, ± 30°, ± 30°
7	單向重複精度 Z, 6X, 6Y*	± 0.2 μm, ± 10 μrad, ± 10 μrad
8	最小步優 Z, 6X, 6Y*	10 nm, 1 μrad, 1 μrad
9	傳感器類型	光學位置傳感器
10	位置傳感器分辨率	2 nm
11	線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜 D-Sub15；UHV 版本：Kapton 塗層線纜，D-Sub15 (PEEK)
12	控製器規格	MC-Free3D

上一個：Free6D.3-2.070六自由度並聯運動台

返回列表

下一個：沒有了

在線留言

三自由度並聯運動台：超安靜運動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·並聯驅動結構 ·內置高精度光學位置傳感器靈活的可定製方案

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯係電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：

三自由度並聯運動台：超安靜運動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·並聯驅動結構 ·內置高精度光學位置傳感器 靈活的可定製方案

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯係電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：

三自由度並聯運動台：超安靜運動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·並聯驅動結構 ·內置高精度光學位置傳感器靈活的可定製方案