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報告題目：光學平台的隔振理論及應用

報告摘要：

當受到外界振源的激勵時，光學係統會產生強迫振動，過大的振動會導致設備部件發生相對位移，出現光路偏轉、采集的圖像信號模糊等，致使設備無法正常工作。

隔振光學平台將地麵傳遞來的振動和負載運動引起的振動進行實時衰減或隔離，從而保障負載不受振動的影響，順利的實現微米至納米量級的設定精度，因此被廣泛的應用於光學試驗、加工及測量中，典型應用為激光幹涉儀係統、電鏡（原子力、隧道掃描等）、顯微鏡、極大規模集成電路製造裝備等。

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